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纳芯微推出采用MEMS工艺的汽车级压差传感器NSPGM2系列

文章来源:汽车时代     发布日期:2023-05-30 16:17     阅读量:6718   

纳芯微推出一款基于硅的压阻效应并采用先进的MEMS微加工工艺设计而成的汽车级压差传感器模组NSPGM2系列。该产品采用汽车级信号调理芯片对贵金属MEMS芯体输出进行校准和补偿,能将0~±5kPa/±35kPa/±100kPa的压力信号转换为可自定义输出范围的模拟输出信号。MEMS差压压力芯体(NSP1832)主要采用贵金属双焊盘结构设计以及稳定性增强的屏蔽层技术设计而成,能够兼容油气环境,符合汽车级AEC-Q103 Grade 0标准。其特有的陶瓷基板封装工艺使得该模组能够耐油汽等介质腐蚀,且MEMS独立封装,设计灵活。

NSPGM2系列模组除了应用于低压/高压燃油蒸汽压力传感器,曲轴箱通风压力传感器(KPS)等燃油动力系统;还可以用于混动车/新能源车真空助力系统(VBS);此外,在工业负压真空检测,气体压力监测也有它的用武之地。

产品主要特点

· 高精度宽温区:高度线性,稳定性好,无需校准,100%温度补偿, -40℃~130℃全温范围内精度优于±2.5%F.S.。

· 简单易用:出厂预校准,且支持客户端多次校准,具备出厂调零功能,模组封装,可移植性好。

· 车规级标准:高达18V的高压供电,支持反压-24V过压28V保护,可承受3x过载压力和5x爆破压力,具有较高可靠性与稳定性。

· 1.62V~5.5V兼容腐蚀环境:独特的贵金属焊盘MEMS搭配陶瓷基板封装,适配各种油气,氮氧环境。

· 定制化产品:0~±5kPa/±35kPa/±100kPa内量程可定制,支持模拟比例/绝对输出,且输出曲线可定制,轻松玩转传统车的常压油箱压力以及混动车的高压油箱压力(35kPa~40kPa)检测。还能应用于刹车真空度助力(0~-100kPa)压力检测,支持多种压力应用场景。

相较于市场上已有产品,纳芯微NSPGM2系列差压模组的响应时间更快,功耗更低,同时还具有更高的精度,更宽的工作温区以及更优异的过反压保护能力。纳芯微作为国产芯片提供商,拥有自主研发的MEMS设计与封装技术以及多压力温度点自动化批量标定技术,能够更好地保证交付,降低客户供应链风险。纳芯微下一代高集成燃油蒸汽传感器也在规划设计中。

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